95919
W technice epitaksji z fazy ciekłej LPE:
o dla e nie większe niż 10‘3 osadzanie nie powoduje powstawania nowych defektów w rosnącej warstwie, o dla e nie mniejsze niż 10*3 w warstwie przejściowej między podłożem a osadzaną warstwą generowane są dyslokacje lub utrudnione jest zarodkowanie.
W technikach MOVPE i MBE, w których możliwe jest uzyskanie dużo wyższych przesyceń niż w LPE, granicą jest £ nie większe niż 1 O*1.
• Zarodki najchętniej lokują się w miejscach energetycznie najbardziej korzystnych, tzn na defektach sieci i zanieczyszczeniach. Mogą to być zerwane wiązania w krysztale np. stopnie atomowe na powierzchni, defekty sieci. Ogólnie rzecz biorąc, defekty są odtwarzane przez rosnąca warstwę Podłoże powinno być więc możliwie bezdefektowe i mieć czystą powierzchnię.
• Konieczna jest stabilność temperaturowa podłoża w temperaturach epitaksji
• Możliwie zbliżone współczynniki liniowej rozszerzalności termicznej podłoża i warstwy.
• Stabilność chemiczna podłoża w obecności reagentów
Odwzorowywane są defekty, a w szczególności defekty śrubowe, na których proces zarodkowania zachodzi szczególnie chętnie, ze względu na najniższą potrzebną energię formowania zarodka. Praktycznie rzecz biorąc zawsze obserwuje się w warstwach epitaksjalnych defekty śrubowe. Rosną one aż do powierzchni warstwy.
W technikach osadzanie z fazy gazowej często stosowanym zabiegiem jest użycie podłoży skośnych, tzn. pochylonych Powierzchnia podłoża me ma dokładnej orientacji np. (100) dla GaAs, ale orientację (100) z odchyłką o 2-4 stopni kątowych w stronę osi [ 110],
16
Wyszukiwarka
Podobne podstrony:
63 INSTRUKCJA GOTO Dla wartości i większej od 10 nic będzie wyświetlany komunikat “Koniec”. Pętla
Dla produktu większego niż 0B koszt krańcowy przewyższa utarg krańcowy, co zmniejsza zysk. Dlatego f
238 239 (18) -238 - dla % (S = 0,065), Q* = 2,9 Q = 2,9-0,02-0,040-10~3-5,42-0,04 = 5,03-I0~7 m3/s W
Porozumienie w przeciwieństwie do związku dot. realizacji konkretnego zadania, nie powodując powstan
24 (557) Materiał} stosowane w technice LPE Zdjęcie kaset}’ grafitowej do epitaksji LPE Epitak
1251033549 by Czesiek019P0 Anime- większość to wyśmiewa Dla nie których jest całym światem... www de
3) . Odchyłki wymiarowe na grubości i szerokości łat nie powinny być większe niż: dla łat o wymiarac
DSC00589 cl - ciepło właściwe lodu (2.1 kJ/(kg K.))<?. “(l c. - ciepło właściwe nie wymrożonej fa
b) ekstrakcja do fazy ciekłej - techniki klasyczne ciało stałe-ciecz: próbkę odwadniamy i wlewamy
b) ekstrakcja do fazy ciekłej - techniki klasyczne ciało stałe-ciecz: próbkę odwadniamy i wlewamy
Funkcje bariery Rkina: • bariera nie przepuszczalna dla wody i większości związków
DSC01830 (4) Rozwiązanie. Współczynnik wnikania masy dla fazy ciekłej obliczamy ze wzoru (8.39): Shc
2tom115 5. MASZYNY ELEKTRYCZNE 232 15 s w przypadku maszyn o mocy do 1000 kW (kV A), a dla maszyn wi
więcej podobnych podstron